FerroTec生态矩阵协同亮相2025海宁半导体展丨安徽博芯微领衔半导体设备Showerhead亮相

凝“芯”聚“链”，勇立“潮”头。5月8日上午，由中国半导体行业协会指导，浙江省半导体行业协会主办的2025中国浙江（海宁）半导体装备及材料博览会在海宁会展中心开幕。本届博览会作为浙江省首届半导体领域博览会，实行线上线下同步展示，设置晶圆制造设备、封装测试设备、化合物半导体、核心部件及材料以及EDA/IP设计服务等5大展区，吸引了业内知名人士、企业代表、行业协会负责人等多家单位齐聚一堂，共同探讨半导体产业前沿技术、市场趋势与协同创新。

Ferrotec集团（中国）旗下杭州大和热磁电子有限公司、杭州盾源聚芯半导体科技有限公司在杭州市滨江区经信厅的邀请下，与杭州长川科技股份有限公司、杭州广立微电子股份有限公司、杭州三相科技有限公司等8家公司组成了杭州滨江参展团，集中展示了滨江区在半导体材料、设备、测试及智能制造等领域的全产业链布局。滨江区经信局相关负责人表示，此次组团参展旨在强化区域半导体产业协同效应，为半导体企业搭建技术交流与合作的优质平台，进一步推动产业链上下游的深度融合。

参展展品

大和热磁石英事业部此次携带了清洗舟（封装）、基片台、石英晶圆等产品亮相本次展会，是半导体制造过程中关键设备中的重要消耗部件，被广泛应用于150mm-300mm半导体制造中的扩散、刻蚀、外延湿法清洗、RTP等工艺中。大和热磁的技术专家向观众详细讲解了这些石英部件在高纯度、耐高温、抗腐蚀等方面的卓越性能，以及如何通过精密加工工艺满足半导体制造对材料稳定性和一致性的严苛要求。

半导体真空腔体以及磁流体真空密封传动装置则是大和热磁真空事业部此次重点展出的产品系列。这些产品主要应用于半导体设备、光伏制造以及真空镀膜等高端制造领域，具有优异的耐腐蚀性、高密封性和长寿命特性。真空事业部技术人员在展台现场介绍道："我们能提供化学镀镍、本色阳极氧化、硬质阳极氧化等14种表面处理技术，显著提升金属部件的耐磨性和表面真空度，确保了复杂精密部件表面处理的均匀性和可靠性；而自主研发的磁流体真空密封传动装置更是突破了传统机械密封的局限，实现了超高真空环境下的零泄漏传动。"

作为半导体行业温控系统整体解决方案的优质供应商，大和热磁热电事业部展出的特殊液体冷水机与半导体式冷水机吸引了众多参观者驻足。这两款产品采用创新的温控技术，能够实现±0.01℃的高精度温度控制，完全满足半导体制造过程中对温度稳定性的严苛要求。展会现场，热电事业部技术人员详细介绍了我司冷水机的核心优势：“我们的冷水机控温范围达-100℃~200℃，可实现±0.01℃高精度温控，致力为半导体、测试、激光、医疗、储能及液冷等多领域客户提供专业的温控解决方案。”值得一提的是，大和热磁热电事业部近期还推出了可应用于半导体行业蚀刻装置的最新款冷水机——FCCWS051-7402系列冷水机。事业部负责人表示，未来将持续优化产品性能，增强差异化竞争能力，为半导体设备国产化进程提供更可靠的温控技术支持。

杭州盾源聚芯半导体科技有限公司作为Ferrotec集团旗下核心企业，在此次展会上重点展示了喷淋头和硅环，彰显了其在半导体关键零部件领域的技术实力。喷淋头在晶圆制造刻蚀环节，作为刻蚀气体进入腔体的通路，还作为产生plasma的电极，是晶圆制造刻蚀环节所必须的核心部件。而硅环的主要作用则是在刻蚀过程中为晶圆提供一个刻蚀氛围以及聚焦等离子体，优化晶圆边缘刻蚀。这些产品已广泛应用于国内外主流半导体设备厂商的刻蚀等关键设备中。

一同展出的还有安徽博芯微半导体科技有限公司的Showerhead喷淋头产品，是一种广泛应用于半导体制造工艺中的气体分配装置。我们的产品具有高精度、高清洁度、多重-复合表面处理等特点，确保气体能够均匀分布在晶圆上，并且无杂质和污染，提高晶圆的制造质量和良率。

2025中国浙江（海宁）半导体装备及材料博览会圆满落幕，FerroTec集团及旗下企业通过本次展会全面展示了在半导体关键零部件、材料及装备领域的技术实力与创新成果。未来，我们将继续深耕半导体产业链，以更优质的产品与服务助力中国半导体产业高质量发展。期待与行业伙伴携手，共同推动技术创新与产业升级！