Type C Showerhead

产品简介

Shower Head，中文名称为喷淋头或者气体分配盘/匀气盘，是一种广泛应用于半导体制造工艺中的气体分配装置。

 

产品主要包括Shower Head、faceplate、block plate、Top Plate、Shield、Liner、Pumping plate， Edge Ring等半导体设备核心零部件。

 

产品特点

高精度：喷淋头通过高精度的机加工设备制成，确保小孔孔径的一致性，使得气体能够均匀分布在晶圆上，保证膜层的高度均匀性和一致性。

 

高清洁度：由于半导体制造对洁净度的极高要求，喷淋头在生产过程中需要经过严格的清洁和处理，以确保无杂质和污染，提高晶圆的制造质量和良率。

 

多重-复合表面处理：喷淋头表面经过喷砂、阳极氧化、刷镀镍、电解抛光等多种工艺处理，以提高其耐腐蚀性、耐磨性和使用寿命，确保在晶圆制造过程中能够稳定工作。

 

产品应用

Shower Head广泛应用于半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、EPI、刻蚀等工艺流程中，是各类气体分配过程中的关键零部件。它能够将反应气体均匀地分配到反应腔中，从而确保半导体材料在反应过程中获得均匀的气体接触，提高产品的质量和生产效率。