在半导体制造工艺中,Showerhead(喷淋头) 及其同功能部件匀气盘、气体分配盘是晶圆制程中的关键零部件,尤其在化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等薄膜沉积工艺中,其性能直接影响晶圆良率、膜层均匀性和设备运行效率。以下从技术原理、结构功能、应用场景及发展趋势四…...
一、定义与核心功能半导体Showerhead(喷淋头)是芯片制造中气体分配系统的核心组件,其作用类似于淋浴喷头——将工艺气体均匀分散至反应腔室,确保刻蚀、沉积等关键工艺的一致性、精度和稳定性。 关键性能指标:o 气体均匀性:直接影响晶圆表面薄膜厚度、刻蚀深度的均匀性(误…...
导言:半导体喷淋头作为芯片制造的气体分配核心,直接决定刻蚀精度与芯片良率。全球市场2025-2031年将以7.1%增速攀升至130亿元,亚太地区占60%份额。Lam Research等五大厂商垄断78%市场,智能喷淋头技术正推动行业向高精度与自适应控制进化。在半导体制造这一高度精密且技术密…...
当前,半导体产业已成为一个国家的先进制造能力、科学技术强大的体现,对国家经济发展和科技进步起到重要作用。 半导体行业,工艺主要由两方面组成:设备、材料。其中,半导体设备多为组装生产,每一个零部件都可能决定一台设备的性能进而影响芯片制造的成败。因此,零部件对于…...
继中芯国际和华虹半导体之后,近日中国大陆另外两家晶圆代工厂商晶合集成和芯联集成也发布2024年全年及2025年第一季度业绩公告。此外,结合IC设计、半导体设备等产业链企业财报数据,当前半导体市场需求回暖态势进一步显现。半导体设备行业据全球半导体观察统计,2024年中微公…...
一、引言半导体产业作为现代科技的核心支柱,其零部件的精密程度与稳定性对芯片制造的良率和性能起着决定性作用。Showerhead(喷淋头)、ESC(静电吸盘)、Valve(阀门)等核心部件虽隐匿于设备之中,却是晶圆制造、刻蚀、沉积等关键环节的关键支撑。本报告综合多家权威机构数…...
金属化及平坦化金属化就是通过真空蒸发或溅射等方法形成金属膜,然后通过光刻、刻蚀,把金属膜的连接线刻画形成金属膜线,这是构成器件功能的关键平坦化就是将晶圆表面起伏不平的介电层加以平坦的工艺。经过平坦化处理后的介电层无悬殊的高低落差,这样,很容易进行接下来的第…...
一、物理气相沉积法制备薄膜物理气相沉积(PVD)是以物理方式进行薄膜沉积的一种技术,金属薄膜一般都是用这种方法沉积的PVD主要有三种技术:真空蒸发、溅射以及分子束外延生长。1. 真空蒸发在早期,金属薄膜都是通过物理蒸发沉积形成的。目前真空蒸发技术一般被用在分立元件或…...
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