半导体涂层的作用
2025/4/17 11:11:34   来源：    点击：33

什么是涂层？涂层，是涂敷在晶圆，设备/配件上的表面的薄层，厚度从纳米到几微米不等，用于改变原有材料的性质，目的是为了保护、提升性能或实现某种特定功能的作用。

涂层的种类有哪些？

以设备/配件上的涂层为例

涂层用什么方式来做的？

以设备/配件上的涂层为例

1、化学气相沉积（CVD），PVD

2、热喷涂技术

3、离子镀技术

4、电镀

化学镀涂层需要考虑哪些性质？

1， 厚度

2， 附着力

3， 表面自由能

4， 与底层材料的粘接力

5， 耐等离子气体能力

6，金属离子率等

安徽博芯微半导体科技有限公司，为核心组件提供高精度Showerhead服务，产品主要包括Shower head、Face plate、Blocker Plate、Top Plate、Shield、Liner、pumping ring、Edge Ring等半导体设备核心零部件，产品广泛应用于半导体、显示面板等领域，性能卓越，市场认可度高。