气体分配盘（Showerhead）技术革新与国内市场机遇
2025/8/28 11:40:42   来源：    点击：26

技术革新引领金属喷淋头发展

金属喷淋头（Showerhead/气体分配盘/匀气盘），作为半导体制造中气体分配系统的核心，其技术进步直接关系到半导体工艺的效率和成品率。近年来，随着材料科学、微纳加工技术的飞速发展，金属喷淋头在结构设计、材料选择、制造工艺等方面均取得了显著进步。特别是匀气盘技术的引入，通过优化气体流动路径，实现了气体分布的均匀，为半导体制造提供了更为稳定、可靠的环境。

国内市场机遇分析

中国作为全球大的半导体消费市场，其半导体产业的快速发展为金属喷淋头等关键部件带来了巨大的市场机遇。据市场研究机构 SEMI（国际半导体产业协会） 新报告预测，到2025年，中国半导体设备市场规模将达到 586亿美元（较2023年的380亿美元增长54%，2023-2025年复合增长率达15.8%）。

其中，金属喷淋头作为刻蚀、沉积等核心设备中的关键耗材（占设备成本的4%-6%），其市场需求将持续增长，预计2025年国内市场规模将突破 12亿美元（按设备市场规模的2.05%测算，参考Gartner对零部件占比的统计模型）。特别是在国家政策的大力支持下，国内半导体产业链不断完善，为本土金属喷淋头企业提供了广阔的发展空间。

国内金属喷淋头市场本土崛起，Ferrotec 表现亮眼。其碳化硅涂层耐腐蚀性超国际品牌 3 倍，微孔加工精度高，价格低 20%-35%，交付快。2023 年国内市占率达 18%，成第二大供应商，未来将扩产能冲全球前三。

面临的挑战与对策

尽管国内金属喷淋头（Showerhead/气体分配盘/匀气盘）市场前景广阔，但本土企业仍面临诸多挑战，如技术积累不足、品牌影响力有限、国际市场竞争激烈等。为应对这些挑战，本土企业需加强技术研发，提升产品性能和质量；加大市场推广力度，提高品牌知名度和影响力；同时，积极寻求与国际先进企业的合作机会，共同开拓国际市场。

安徽博芯微半导体科技有限公司，为核心组件提供高精度Showerhead服务，产品主要包括Shower head、Face plate、Blocker Plate、Top Plate、Shield、Liner、pumping ring、Edge Ring等半导体设备核心零部件，产品广泛应用于半导体、显示面板等领域，性能卓越，市场认可度高。

内容来源：本文章数据来源于市场研究机构报告、企业新闻发布及行业专家观点，综合分析而成。