Type B Shower Head
2024/12/25 15:23:16   来源：    点击：75

Showerhead产品介绍

Showerhead，中文名称为喷淋头或者气体分配盘/匀气盘，是一种广泛应用于半导体制造工艺中的气体分配装置。

产品主要包括Showerhead、faceplate、block plate、Top Plate、Shield、Liner、Pumping plate， Edge Ring等半导体设备核心零部件。

1、 微孔结构

Showerhead（喷淋头）根据不同的气体流量分配要求，主要分四类微孔加工形式（如图）。

微孔直径范围：0.2——6 (mm)          微孔均匀性：3sigma ≤5um

微孔尺寸公差：±0.01 (mm)             孔壁光洁度：Ra≤0. 4um

微孔位置公差：0.03 (mm)              极限径深比：≤50倍

4阶孔截面图

1、 产品特点

高精度：喷淋头通过高精度的机加工设备制成，确保小孔孔径的一致性，使得气体能够均匀分布在晶圆上，保证膜层的高度均匀性和一致性。

高清洁度：由于半导体制造对洁净度的极高要求，喷淋头在生产过程中需要经过严格的清洁和处理，以确保无杂质和污染，提高晶圆的制造质量和良率。

多重-复合表面处理：喷淋头表面经过喷砂、阳极氧化、刷镀镍、电解抛光等多种工艺处理，以提高其耐腐蚀性、耐磨性和使用寿命，确保在晶圆制造过程中能够稳定工作。

易于清洗和维护：为了方便清洗和维护，Showerhead通常采用可拆卸的设计，使得用户可以方便地拆卸和清洗内部的零件，从而延长产品的使用寿命。

2、 产品应用

Showerhead广泛应用于半导体集成电路制造过程中的PVD、CVD、PECVD、EPI、刻蚀等工艺流程中，是各类气体分配过程中的关键零部件。它能够将反应气体均匀地分配到反应腔中，从而确保半导体材料在反应过程中获得均匀的气体接触，提高产品的质量和生产效率。

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